SORTER

·  可對應3-12英寸各類材質的晶圓；

·  可對應Foup、FOSB、SMIF、Open Cassette；

·  可對應可OHT系統和 AGV系統相配套；

·  可對應MES系統；

·  滿足用戶的各種應用方式（夾持、伯努利、翻轉）和14納米工藝需求；

·  除了通用的2-8 port產品外，可根據客戶的需求定制各類型排列方式；