晶圓檢測傳送系統
· 可對應各尺寸和各種材質晶圓；
· 基于MES系統通過SECS/GEM傳輸指令或手動輸入指令對WAFER進行傳送和定位，兼容多種通訊協議，可與與各類檢測等設備配套；
· 兼容多種通訊協議，無縫式簡易連接。
· 可對應各尺寸和各種材質晶圓；
· 基于MES系統通過SECS/GEM傳輸指令或手動輸入指令對WAFER進行傳送和定位，兼容多種通訊協議，可與與各類檢測等設備配套；
· 兼容多種通訊協議，無縫式簡易連接。
