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晶圓檢測傳送系統

 

·  可對應各尺寸和各種材質晶圓;


·  基于MES系統通過SECS/GEM傳輸指令或手動輸入指令對WAFER進行傳送和定位,兼容多種通訊協議,可與與各類檢測等設備配套;


·  兼容多種通訊協議,無縫式簡易連接。

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