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圖片29

晶圓外觀檢查分選機

 

·  可實現8/12英寸晶圓分選;


·  配置高倍顯微鏡及CCD視覺系統實現晶圓正面及背面的缺陷檢查; 


·  兼容Foup/Open Cassette; 


·  可視化操作,雙顯示屏界面,操作簡便;


·  具有MES模塊的軟件系統可與CIM系統無縫鏈接。

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