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圖片1

8吋晶圓(SMIF)專用EFEM、Sorter

SMIF Opener

適用于8吋晶圓SMIF料盒的自動開閉,使用傳感器檢測晶圓的有無,實現高穩定性,高效率,Class1潔凈度等級;

 

·  機構檢測料盒位置準確后,實現開蓋;


·  開盒時檢測料盒內wafer狀態,例如疊片、交叉片等情況;

 

·  關盒時檢測料盒內wafer是否有凸出情況,保護wafer;

 

·  具備RFID讀取功能;

 

 

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