8吋晶圓（SMIF）專用EFEM、Sorter

SMIF Opener

適用于8吋晶圓SMIF料盒的自動開閉，使用傳感器檢測晶圓的有無，實現高穩定性，高效率,Class1潔凈度等級；

·  機構檢測料盒位置準確后，實現開蓋；

·  開盒時檢測料盒內wafer狀態，例如疊片、交叉片等情況；

·  關盒時檢測料盒內wafer是否有凸出情況，保護wafer；

·  具備RFID讀取功能；