首頁    EFEM、SORTER、SMIF Opener    EFEM
efem

EFEM

基于MES系統通過SECS/GEM傳輸指令或手動輸入指令對WAFER進行傳送和定位,兼容多種通訊協議,可與各類工藝和檢測設備配套。

 

·可對應3-12英寸各類材料的晶圓;

 

·可對應Foup、FOSB、SMIF、Open Cassette;

 

·可對應OHT系統和AGV系統相配套;

 

·除了通用的2-4port產品外,可根據客戶的需求定制各類型排列方式;

 

 

潮喷了快点用力啊抱我