“EFEM”累計出貨100臺儀式在微松制造基地海安舉行

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      作為半導體設備的核心零部件,特別是8、12吋EFEM的系統級核心部件,常常需要按照設備整機廠商的設計進行調整布局和參數。研制國產EFEM,可以提高零部件國產化率,降低對國外零部件的依賴,降低成本,減少風險,可以提高國產設備整機廠商的國際競爭力。

      微松自2017年首次為中后道工藝設備廠商配套EFEM以來,歷時4年,逐步進入前道工藝設備廠商供應商行列;并與德國、日本的檢測設備、光刻設備等廠商批量配套;在用戶端提供具有MES功能的SECS/GEM整體解決方案。

      近日,第100EFEM出貨儀式在微松制造基地海安舉行。上海微松繼推出前道晶圓Sorter類產品,并成功實現大批量國產替代后;又下功夫在客戶定制化要求更高的EFEM類領域取得穩定的市場地位,達到穩定的性能和量產指標。下一步在核心零部件的國產化上爭取再創佳績。

 

2021年12月6日 13:01
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